Comprensión de las especificaciones comunes para matrices de silicio MEMS

Para evaluar la calidad y el rendimiento de una matriz de silicio MEMS, los clientes deben confiar en las especificaciones...

... al menos hasta que puedan probar las piezas por sí mismos. Este artículo discutirá las especificaciones más comunes relacionadas con estos troqueles de sensores de presión.

Lo principal que hay que entender acerca de las matrices MEMS es que cuando se exponen a presión o temperatura, producirán una salida correspondiente, que estará en milivoltios, siempre que se haya suministrado un voltaje de entrada o voltaje de excitación. La salida de milivoltios del dado MEMS es esencialmente el valor de presión. Por lo tanto, la característica general a buscar en cualquier matriz MEMS es una salida estable y repetible cuando la matriz se prueba en diversas condiciones.

Lea el artículo completo en el siguiente enlace para conocer las especificaciones comunes que se utilizan para caracterizar el rendimiento de un troquel de sensor de presión en diferentes condiciones de funcionamiento.